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FIB ( Focused ion beam) 聚焦離子系統是利用聚焦之離子束對指定的區域進行埋切及修飾,透過反射的離子或電子進行偵測,可得到指定位置之橫切面影像。目前廣泛被使用在電子工業及材料之異常分析應用上。